您好,歡迎來到秋山科技(東莞)有限公司!
產(chǎn)品型號: PC-600系列
所屬分類:壓力傳感器
產(chǎn)品時間:2024-09-10
簡要描述:日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此,我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-600系列。
日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列
半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng),形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此,我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-600系列。
日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列
規(guī)格
型號 | 表壓※ | 絕對壓 | ||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
PSI | 25G | 50G | 100G | 200G | 500G | 3000G | 15A | 25A | 50A | |
壓力范圍 | KPa | 0~172.4 | 0~344.7 | 0~689.5 | 0~1,378.9 | 0~3,447.3 | 0~20,684 | 0~103.4 | 0~172.4 | 0~344.7 |
kgf/cm2 | 0~1.76 | 0~3.52 | 0~7.03 | 0~14.06 | 0~35.16 | 0~210.9 | - | - | - | |
torr | - | - | - | - | - | - | 0~776 | 0~1,293 | 0~2,586 | |
精度(% 全量程) | ±0.5% | ±0.25% | ±0.5% |
※可選項(xiàng):表壓類型的輸出基準(zhǔn)可以為真空(-100KPa)。(訂購時需要指ding)
過載壓力 | 全量程×2 |
---|---|
保存溫度范圍 | -40℃ ~ 85℃ (未通電) |
溫度補(bǔ)償范圍 | 0℃ ~ 70℃ |
溫度漂移 | ±0.05% FS/℃ |
外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec |
氣體(液體)接觸部分 | 哈司特鎳合金® |
連接零件 | 1/4" Gasket seal、 Compression seal、其它 |
型號 | 604 | 605 |
---|---|---|
激勵電源電壓 | DC 12~26V | DC 12~26V |
信號輸出 | 4~20mA | 0~5V |
跨度 | 16mA±0.16mA | 5V±0.5V |
偏移量 | 4mA±0.4mA | 0V±0.1V |