日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
半導體設備的生產線中、HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內表面吸附并 和少量的水分反應,形成腐蝕生成物。這種物質是產生微粒子造成半導體工藝污染的原因。因此,我們采用了遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發出這種對應腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-601系列。
日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
規格
型號 | 表壓※ | 絕對壓 | ||||||||
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PSI | 25G | 50G | 100G | 200G | 500G | 3000G | 15A | 25A | 50A | |
壓力范圍 | KPa | 0~172.4 | 0~344.7 | 0~689.5 | 0~1,378.9 | 0~3,447.3 | 0~20,684 | 0~103.4 | 0~172.4 | 0~344.7 |
kgf/cm2 | 0~1.76 | 0~3.52 | 0~7.03 | 0~14.06 | 0~35.16 | 0~210.9 | - | - | - | |
torr | - | - | - | - | - | - | 0~776 | 0~1,293 | 0~2,586 | |
精度(% 全量程) | ±0.5% | ±0.25% | ±0.5% |
※所有的表壓類型可以連成。
過載壓力 | 全量程×2 |
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激勵電源電壓 | DC 5V(MAX 6V) |
保存溫度范圍 | -20℃~93℃(未通電) |
溫度補償范圍 | -1℃~71℃ |
溫度漂移 | ±0.05% FS/℃ |
信號輸出 | 100mV(20mV/V) ※25G ?50Gは、50mV(10mV/V) |
跨度 | 100mV±15mV ※25G ?50Gは、50mV ± 15mV |
偏移量 | 0mV ± 10mV |
外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec |
氣體(液體)接觸部分 | 哈司特鎳合金® |
連接零件 | 1/4" Gasket seal、 Compression seal、其它 |
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