日本yamamoto-ms電鍍溶液應變片式精密應力儀B-72WJ-SG
通過使用傳感器測量基板的應變,可以實時測量鍍層的內部應力。
一次測量可以測量每個電鍍時間(膜厚)的應力。您也可以在重新鍍膜一次后的膜上測量應力。可以測量微小的應力,這是常規應力計無法實現的。將專用的壓力計板插入精密電鍍電源YPP系列的插槽中以供使用。
●符合JIS H8626標準。
●即使在弱壓力下也可以進行測量。適用于測量薄弱的產品,例如薄膜和晶圓。(從0.5μm或更大的膜厚可以進行精確測量)
●也可以測量其他方法無法測量的初始應力。
●適用于精細零件。
●傳感器獲取的數據會立即輸入到連接電源的PC上,并且PC會自動計算應力值,而無需進行任何計算。另外,使用個人計算機實時顯示和累積被測數據。
日本yamamoto-ms電鍍溶液應變片式精密應力儀B-72WJ-SG
輸入電壓 | AC100-200V±10%(50 / 60Hz±5%) |
輸出電壓/輸出電流 | DC0?15V / 0?10A |
z低分辨率 | 1mA / 10mV / 0.1mC的 |
溫度控制功能 | 1KW(開/關控制/ PID控制) |
體重 | 8.8公斤 |
支持的操作系統 | 與Windows 8和10兼容 |
產品編號 | 產品名稱 | 數量 |
B-72-SG-P01W | 應變片式精密應力計水箱(MODEL-w) | 1片 |
B-72-SG-P02 | 應變片式精密應力計的夾具(陽極背面) | 1套 |
B-72-SG-P03-1 | 5個試片(銅),用于應變片式精密應力計 | 1套 |
B-72-SG-P04 | 應變片式精密應力計試件用絕緣管 | 1個 |
B-50-KTSG121513 | 不銹鋼G型塞(寬度12毫米x 15φ13) | 1片 |
B-72-SG-P06 | 用于應變儀式精密應力計的陽極板組 (含磷銅,鎳,SK鎳,高純錫(三菱電解錫)中的一種) | 1套 |
B-58WJA | WJA型,帶加熱器溫度保險絲,用于Halcel(AC100V,100W) | 1 |
B-72-SG-P07 | 應變片式精密應力計用空氣管 | 1個 |
B-57A | Halcel的氣泵A(AC100V) | 1片 |
B-62A | 攪拌器(帶固定底座)(與微桶,智能船體艙,智能艙兼容) | 1套 |
B-93-YTC-P04 | YTC,YPP溫度傳感器(短型)總長190mm | 1個 |
B-93-YTC-P02 | 溫度控制器YTC塞子的溫度傳感器(L型) | 1片 |
A-52-P18 | 空氣過濾器 | 1片 |
A-57-15100-1B | 應變片式精密應力計板 | 1個 |
A-57-15100WA-J | 晶圓YPP15100WA-J的精密電鍍電源(1mA-10A) | 1 |
A-57-15031WA-J | 超精密電鍍電源YPP15031WA-J(10μA-3A) |