日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
規格
過濾精度 | 0.003μm |
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推薦流量 | 10~100?/min(各型號區別:參考流量特性曲線) |
最高使用壓力 | 0.98MPa(142PSIG) at20℃ |
最大容許差壓 | 0.7MPa(101.5PSIG) at20℃ |
最高使用溫度 | 460℃ |
外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec以下 |
構成材料 | 外罩:SUS316L(電解研磨處理)元素:SUS316L 內表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 |
連接零件 | 1/4"Gasket seal、其它 |