日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ
特征
應用/結果示例
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ
基本規格
陰極 | φ2英寸/平板型電極 |
濺射靶 | 包含金靶 |
氣體導入機制 | 針閥 |
間歇功能 | 標配 |
真空泵 | 直連式旋轉泵:20l / min(帶自動泄漏) |
箱體尺寸 | 內徑φ90mmx D90mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開合式 |
尺寸(寬/深/高) | 主體:160/326 / 286mm RP:300/160 / 200mm |
重量 | 身體:10公斤RP:9公斤 |