日本npc西村陶業半導體陶瓷/液晶制造設備
對于半導體制造設備,高剛性,加工精度,抗震性,耐熱性,導熱性,表面處理精度,金屬污染,耐化學藥品性,耐氣體性,耐等離子性,絕緣性,介電常數,介電常數需要各種特性,例如特性,體積電阻,低粉塵產生(顆粒)和成本。
Nishimura Suegyo高純氧化鋁作為陶瓷可以響應上述特性(Al 2 O 3 99.7%或更高,Al 2 O 3 99.9%或更高),氮化鋁(ALN),氧化釔(Y 2 0 3和*)。
由于其特性,高純度氧化鋁可用于運輸臂,晶圓臺,RF高頻傳輸窗口等。它還具有出色的金屬化功能。
氮化鋁具有優異的導熱性,散熱性,耐熱沖擊性和電絕緣性,并且具有熱膨脹率接近硅晶片的熱膨脹率的特性。
Itria是一種具有出色耐等離子體性的材料。
日本npc西村陶業半導體陶瓷/液晶制造設備
虛擬晶片(ALN /氧化鋁陶瓷)
我們制造和銷售高純度ALN(無助劑)和高純度氧化鋁假晶片。 尺寸:大12英寸 |
氧化鋯φ0.1小孔管
我通過擠壓氧化鋯制成了煙斗。中心有φ0.1孔的管道。 |
Belger用于耐等離子CVD的材料N-999S
由高純度的99.9%氧化鋁(N-999S)材料制成,可抵抗半導體制造設備的等離子體磨損。? |
氧化鋁N-999S管
我們用99.9%的氧化鋁(N-999S)制成了幾乎沒有彎曲的管子(尺寸:φ10+ 0 / -0.05 xφ8+ 0.1 / 0 x 350L)。 將其成型并以0.2mm或更小的翹曲烘烤,而無需拋光內徑。 ? |
校正環(校正板環)
校正環(校正板環)這是用于校正Kenma板的板板的環。由99.7%的氧化鋁制成我們可以根據您的要求制造尺寸,形狀和精度。? |
耐等離子陶瓷U型管
由99.7%的氧化鋁制成的U形管用作半導體制造設備中的等離子體保護管。? |
耐等離子防護罩
西村陶瓷的半透明氧化鋁N-9000NS用作半導體制造設備的耐等離子保護蓋。? |
耐血漿肘
2分割彎頭,由高純度氧化鋁制成,具有耐等離子性。 它具有可以組裝的形狀。? |
由高純度氧化鋁N-99(氧化鋁99.7%或更高)制成,用于半導體制造設備
由高純度氧化鋁N-99(氧化鋁99.7%或更高)制成的產品用作半導體制造設備的零件。? |