日本電測densoku熒光X射線膜測厚儀EX-731
采用雙重過濾器
通過使用除數值濾波器以外的機械濾波器(雙重濾波器),可以在jia條件下進行測量,從而始終獲得gao的精度。
自動測量階段
通過將鼠標對準測量位置來實現快速對準。如果注冊測量位置,則可以進行連續自動測量。坐標校正和通道鏈接支持各種模式。標準板校準也可以自動測量。
完整的報告創建功能
通過采用MS-Windows軟件,可以輕松捕獲測量屏幕,并增強報告創建功能。使用多任務功能,即使在測量期間也可以進行包括報告創建在內的其他處理。
5種準直儀
小準直儀為0.1φmm,可以測量極小的零件。標準,0.1、0.2、0.5、1.0、2.0
另外,有兩種特殊規格可供選擇。
? 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
? 0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5
自診斷功能和X射線管維護功能
使用自診斷功能,可以迅速解決設備故障。此外,增加了顯示X射線管使用時間和使用壽命的功能,以支持維護安全。
膜厚測量中的頻譜顯示
通過多通道進行光譜分析高速處理使顯示被測物的光譜變得容易。(處理速度約2-3秒)
在測量部分顯示監控圖像
在Windows屏幕上捕獲X射線照射單元并顯示X射線照射單元。準直儀提供了改變尺寸的放大倍率功能。
可視顯示測量對象的鍍層附著力分布
三維圖形顯示可輕松查看測量對象的鍍層厚度分布。
Be 窗口X射線管(選件)提高的性能(高精度)
我們已經為熒光X射線膠片厚度計準備了Be窗口X射線管。
通過使用Be窗口X射線管,Cr測量和Ni測量的重復測量精度顯著提高。
與標準X射線管的比較
Sn等的高能量(高原子序數)測定與以前相同。
當測量低能量(低原子序數)的Cr和Ni時,Cr的重復性提高了約3倍,Ni的重復性提高了約2倍。
當測量兩層時,中間層中Ni的測量精度提高了約20%。
通過使用Be窗口X射線管,Cr的熒光X射線強度比常規標準設備的熒光X射線強度高大約9倍。
因此,可以在短時間內以與以前相同的精度進行測量。
請考慮使用此Be窗口X射線管。
日本電測densoku熒光X射線膜測厚儀EX-731
類型 | 手動階段 | 電動舞臺 | ||
測量頭 | 尺寸(毫米) | 170 x 110 | 300 x 280 | |
運動量 | X(毫米) | 70 | 80 | |
Y(毫米) | 70 | 60 | ||
Z(毫米) | 80(大物體高度150) | 50 | ||
被測物體高度(大) | 80(選件150) | 50 | ||
尺寸(毫米) | 600(寬)x 465(深)x 730(高) | |||
重量(公斤) | 79 | 85 | ||
樣品負荷(kg) | 3 | 2 | ||
電腦 | 尺寸(毫米) | 機身182(W)x 383(D)x 372(H) /顯示器412(W)x 415(D)x 432(H) | ||
重量(公斤) | 主機6.8 /顯示器2.8 | |||
打印機 | 重量(公斤) | 3.4 | ||
電源供應 | AC100V±10V的 |
(注)規格如有變更,恕不另行通知。
X射線源 | 油浸式微聚焦X射線管 靶:鎢 管電壓50kV, 管電流可變 |
照射方式 | 頂部垂直照射法 |
探測器 | 比例柜臺 |
準直儀 | 5種(自動切換類型) 0.1、0.2、0.5、1.0、2.0φmm (選件):0.05、0.1、0.2、0.3、0.5 ,φ :0.05×0.5、0.5×0.05、0.1、0.2、0.5φ |
樣品觀察 | CCD彩色相機 |
電腦 | 兼容PC / AT的 17英寸彩色顯示器 |
打印機 | 噴墨打印機 |
測量對象 | 原子序數22(Ti)至82(Pb) 原子序數21以下可通過吸收法測定 |
過濾 | 2種(Co,Ni)自動切換 |
可測范圍 | 原子數22至24:0.02至約20μm 原子數25至40:0.01至約30μm 原子數41至51:0.02至約70μm 原子數52至82:0.05至約10μm |
校正曲線 | 自動校準曲線創建功能 多點校準曲線 |
校正功能 | 基礎校正 |
應用 | 單層鍍層測量 兩層鍍層測量 三層鍍層測量 合金膜厚成分比同時測量 化學鍍鎳測量 |
測量功能 | 自動測量 輸出格式設置 頻譜測量 兩點之間的距離測量 |
自動表功能 | 測量位置(XYZ) 相同圖案重復功能 原點校正功能 測量位置確認功能 自動校準 |
數據處理功能 | 統計顯示:平均值,標準偏差,大值,小值,范圍,Cp,Cpk 直方圖 輪廓顯示 測量數據三維顯示 x-R控制圖 |
安全功能 | X射線電源鑰匙開關 故障安全功能 |
其他特性 | 平臺坐標顯示 密碼功能 設備維護 |