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超痕量水分儀 FalconTrace系列介紹
超痕量水分計“FalconTrace"采用球型SAW傳感器,可定量測量工業(yè)氣體和天然氣中所含的微量水分子。
響應(yīng)速度極快,可以實時監(jiān)測水分含量的變化,還可以測量水分含量和背景氣體成分分析兩項。可以精確測量氣體中的水分濃度,低至 1 ppb(十億分之一)水平。
① 叉指換能器(IDT)產(chǎn)生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道上循環(huán) ,并對所涂敏感膜的微小變化
④ 通過積分微小變化實現(xiàn)高靈敏度傳感。通過多次輪換。
半導(dǎo)體制造設(shè)備制造商
(主要是前端工藝)
蓄電池制造商及其材料制造商
的制造流程
工業(yè)氣體制造商
響應(yīng)速度極快,可以在幾秒鐘內(nèi)監(jiān)控水分含量的變化,這對于穩(wěn)定半導(dǎo)體和二次電池制造過程中的產(chǎn)品產(chǎn)量和質(zhì)量非常有用。
無需重新配置每種背景氣體,當天然氣等成分出現(xiàn)波動時,可以同時檢測。另一個主要優(yōu)點是傳感器材料是水晶球,使其耐腐蝕、重量輕且易于攜帶。
該系列中的頂級型號,實現(xiàn)“超"微量水分測量
測量范圍廣泛的露點,從-110℃到-20℃
除了露點測量之外,還以%水平檢測背景氣體*的成分(相當于平均分子量)
*背景氣體:水分含量測量的目標氣體
該裝置涵蓋從天然氣到高純度氣體的所有氣體。
應(yīng)用實例
工業(yè)氣體制造過程和運輸過程中的質(zhì)量控制、半導(dǎo)體制造材料氣體的純度控制
中檔型號,可實現(xiàn)中檔實時測量。
1秒內(nèi)測量從-90℃起的露點變化,非常適合測量實時控制系統(tǒng)
也可以更改為設(shè)備內(nèi)置型*
*請聯(lián)系我們。
應(yīng)用實例
一般生產(chǎn)線的質(zhì)量控制、電池制造過程中的水分含量監(jiān)測
小型通用機型,在保持高速響應(yīng)的同時強調(diào)便攜性。
1秒內(nèi)測量從-70℃起的露點變化,同時支持實時測量系統(tǒng)
輕而小,僅重2kg,方便攜帶至目標區(qū)域
由于電池供電,可在沒有市電的地方使用
應(yīng)用實例
干燥箱、空間水分分布、一般氣體