Sanko半導體晶圓運輸容器介紹
晶圓運輸容器(WaferShippingBox)以物理和化學安全且清潔的方式運輸作為半導體技術基礎的晶圓(φ300mm至φ50mm)。
可用于半導體制造過程及其前后工序的儲存和運輸。
另外,容器的材質不僅可以用于硅晶片,還可以用于化合物半導體、石英玻璃、陶瓷等各種晶片。
在瞬息萬變的IT行業中,我們提供滿足QCD且環保的運輸容器。
介紹Sanko半導體晶圓運輸容器的特點。
晶圓上的化學污染主要有以下三個原因:(1)有機污染,(2)金屬污染,(3)無機分子污染。
我公司選用純凈的材料,盡可能減少污染源,使晶圓的清潔運輸成為可能。
1. 可視性
所有Σ系列型號的蓋子均采用透明材料。可以目視檢查容器內部,從而可以輕松檢查晶圓的有無和晶圓的數量。
2. 最佳密封/無膠帶
我們的所有 Sigma 系列型號均配有墊圈,使容器密封,因此在運輸和包裝過程中無需用膠帶密封容器的開口。
我們改變了Σ系列的材料,現在推出了具有抗靜電性能的Ω系列。
在Σ系列中,每個部件均由單一材料制成,并且可以在容器使用后通過粉碎每個部件來回收。
- 最大限度地減少排氣并實現低有機污染。
?緩沖結構使其能夠抵抗跌落、運輸和振動。
- 蓋和底結構簡單。
- 蓋子呈葉片形狀,可防止晶圓飛揚,結構簡單,但仍能安全可靠地輸送晶圓。
- 單晶圓類型,可清潔地輸送晶圓。
- 最大限度地減少排氣并實現低有機污染。
?堆疊高度也緊湊。
?SS300帶有墊圈,可以安全地儲存和運輸12英寸晶圓。
- 能夠處理小批量,非常適合運輸 2 英寸至 12 英寸的樣品晶圓。
?該型號基于 Sigma 系列,增加了充電性能,可安全運輸圖案化晶圓。
- 抗沖擊能力強,可安全運輸薄晶圓。