小型貴金屬濺射鍍膜機SC-701MkII介紹
DC 濺射類別中最小的超緊湊型號。
一種小型濺射裝置,可讓您輕松輕松地制作電極薄膜。
標準配備間歇濺射功能
使用專用的樣品臺和載物臺可以輕松改變 TS 之間的距離。
將電極膜粘貼到各種設備上
用于反射薄膜生產等。
陰極 | φ2英寸/扁平電極 |
濺射靶材 | 單獨出售 Au/Pt/Pd/Ag/Au-Pd/Pt-Pd |
氣體導入機構 | 針閥 |
間歇功能 | 標準設備 |
真空泵 | 直連旋轉泵:20l/min(帶自動泄漏) |
腔室尺寸 | 內徑 φ90mm x D90mm(SUS材質) |
樣品交換方式 | 前門開閉方式 |
尺寸(寬/深/高) | 機身:160/326/286mm RP:300/160/200mm |
重量 | 本體:10kg RP:9kg |