nps電半導體/LCD前工序檢查用電阻率測量裝置介紹
適合專業技術人員的高性能工具。
這是一款手動型測量儀器,采用四探針法,可輕松準確地測量太陽能電池用硅片、液晶基板、金屬薄膜等的方塊電阻或體積電阻。它支持從低電阻到高電阻的各種測量。
<應用>
1) 用于硅錠制造→晶圓制造工序(成膜等各工序)的產品檢查
2) 液晶面板(LCD基板)制造:成膜時的產品檢查
3) 用于各種導電材料制造過程中的產品檢驗
可以使用本公司另外配置的“4點探頭"進行測量。
[相關產品] 4點探頭
■ 型號 sigma-5+
它可以精確測量硅片等的電阻率,還有用于太陽能電池的硅的便攜式探頭。
這是一款高精度電阻率測量儀器,采用20多年電阻率測量相關的專業知識和技術設計和開發。
可以在半導體基板和導電薄膜基板的研發/檢查過程或生產線中高精度地確定和評估薄層電阻值和體積電阻值。
*照片為與樣品臺RG-5的組合。
[特征]
?帶有開關功能的智能面板,可進行詳細設置
?緊湊的桌面尺寸設計
?從低電阻到高電阻的寬測量范圍
?電流極性切換測量可抑制因整流而產生的誤差
?每次測量開始時自動調零功能
?自動設定最佳電流的自動量程功能
?試樣厚度修正功能
?測量值平均值顯示和打印機平均值計算功能
?半導體溫度校正功能
?各種溫度修正系數輸入功能
?帶數據打印機接口
?具有數據連接接口
?可選擇樣品表
手持式 ?電阻率測量儀 型號PV-628
PV-628 型是一款便攜式 4 點探針測量儀器,專門用于測量太陽能發電用硅的電阻率。由于它采用電池作為電源,因此便于攜帶,而且不受被測物體形狀或尺寸的限制,便于測量。