screen用于光刻的黃光SEBAPRO Light技術分析
活躍于各種光刻環境。
光源使用不具有抗蝕劑敏感波長范圍的國產高亮度LED。維護工程師和工藝工程師可以放心使用。高效的驅動電路設計,實現了與白光LED同等的功耗水平。采用變焦機構,投光區域可通過操作調節環從寬到窄自由調節。
光源使用不具有抗蝕劑敏感波長范圍的黃色LED。
采用高亮度、高效率的驅動電路。實現與白色 LED 相同的省電水平。
平衡合身性和便攜性的設計。隨附一條帶子以確保牢固固定。
一種高強度黃光,非常適合在高級曝光機和涂布機/顯影設備等光刻環境中工作。它消除了暴露在白光下的風險,并顯著提高了可加工性。
新型號為充電規范Rev2。
便于現場檢查涂層不均勻性的手持燈。使現場決策更快,大大改善了過程評估和設備條件設置工作。
后繼車型于 2021 年 4 月發布。