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用于半導體制造工藝的單組分密度計介紹

發布時間：2021-11-18　點擊量：729

用于半導體制造工藝的單組分密度計介紹


產品概覽

該型號在保留 FUD-1 Model-13 的可維護性和高精度在線測量等優點的同時，配備了用于半導體制造工藝的小型單元發射器。


單組分密度計的特點

實時濃度測量成為可能，并且易于構建濃度控制系統。

  • 標配模擬DC4-20mA和數字RS232C

  • 標配測量誤差輸出和報警輸出

  • 標配自診斷功能和錯誤信息顯示

  • 緊湊輕便的單元式變送器可直接安裝在線路上

  • 由于使用 PFA 的接液部件的質量和小輸出設計，對化學溶液沒有影響。


優點

  • 可進行高精度連續測量

  • 免維護，無需定期調整和校準

  • 安裝方便，安裝過程中無需進行各種調整

  • 通過實時輸出輕松反饋過程


用途

  • CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等。

  • 稀釋過程中各種化學品的濃度控制（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）

  • 清洗過程中清洗液濃度控制（HF、NH4OH、KOH、IPA等）

  • 蝕刻過程中蝕刻液濃度控制（HF、H2SO4等）